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J-GLOBAL ID：200902294551427612   Reference number：09A0713529

Direct Actuation of GaAs Membrane with the Microprobe of Scanning Probe Microscopy

走査型プローブ顕微鏡法のマイクロプローブによるGaAs膜の直接作動

Author (8)： TAMARU Kojiro (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  TAMARU Kojiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NONAKA Keiichiro (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  NONAKA Keiichiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NAGASE Masao (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  YAMAGUCHI Hiroshi (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  WARISAWA Shin'ichi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ISHIHARA Sunao (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 48  Issue： 6,Issue 2  Page： 06FG06.1-06FG06.5  Publication year： Jun. 25, 2009 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： scanning probe microscope ,  *action ,  microprobe ,  *gallium arsenide ,  compound semiconductor ,  *semiconductor thin film ,  micro cavity ,  *resonance (vibration) ,  amplitude ,  interaction ,  nonlinear vibration ,  stress (mechanics) ,  tapping
Semi thesaurus term： *actuation ,  nanoresonator ,  tapping

JST classification (1)： Excitation,generation and measurements of vibrations  (BB02030Z)

Reference (24)：

• Y. T. Yang, C. Callegari, X. L. Feng, K. L. Ekinci, and M. L. Roukes: Nano Lett.6(2006)583.
• B. Ilic, Y. Yang, K. Aubin, R. Reichenbach, S. Krylov, and H. G. Craighead: Nano Lett.5(2005)925.
• D. Rugar, R. Budakian, H. J. Mamin, and B. W. Chui: Nature 430(2004)329.
• J. Yang, T. Ono, and M. Esashi: Sens. Actuators A 82(2000)102.
• V. Sazonova, Y. Yaish, H. Üstünel, D. Roundy, T. A. Arias, and P. L. McEuen: Nature 431(2004)284.

Terms in the title (3)： 走査型プローブ顕微鏡法 ,  マイクロプローブ ,  GaAs