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J-GLOBAL ID：200902294588804718   Reference number：03A0694108

Measurement by multidirectional interferometers of the position and orientation of a positioning stage.

位置決めステージの位置や方位の多方向干渉計による測定

Author (5)： ZHANG J (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAGUCHI T (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  IWATA K (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  KIKUTA H (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  PARK C S (Osaka Sci. and Technol. Center, Osaka, JPN)
Material： Applied Optics  (Lasers, Photonics, and Environmental Optics)
Volume： 42  Issue： 28  Page： 5661-5669  Publication year： Oct. 01, 2003 
JST Material Number： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical interferometry ,...

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JST classification (2)： Interferometry and interferometers  (BD07070G) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (4)： ステージ ,  方位 ,  多方向 ,  干渉計