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J-GLOBAL ID：200902294849759243   Reference number：03A0094724

Application of CW Laser Crystallization for Display Devices.

CWレーザー結晶化のディスプレイデバイスへの応用

Author (8)： HARA AKITO (富士通研) ,  TAKEUCHI FUMIYO (富士通研) ,  TAKEI MICHIKO (富士通研) ,  SUGA KATSUYUKI (富士通研) ,  YOSHINO KEN'ICHI (富士通研) ,  CHIDA MITSURU (富士通研) ,  SANO YASUYUKI (富士通研) ,  SASAKI NOBUO (富士通研)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 31  Issue： 1  Page： 50-56,84-85  Publication year： Jan. 15, 2003 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *semiconductor thin film ,...

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JST classification (4)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Laser irradiation effects and damages  (BK16040S) ,  Display equipment  (NC06030Q) ,  Transistors  (NC03070N)

Reference (30)：

• 1) T. Sameshima, S. Usui, and M. Sekiya: IEEE Trans. Electron Device Lett. EDL-7 (1986) 276.
• 2) K. Sera, F. Okumura, H. Uchida, S. Itoh, S. Kaneko, and K. Hotta: IEEE Trans. Electron Devices ED-36 (1989) 2868.
• 3) H. Kuriyama, S. Kiyama, S. Noguchi, T. Kuwahara, S. Ishida, T. Nohda, K. Sano, H. Iwata, H. Kawata, M. Osumi, S. Tsuda, S. Nakano, and Y. Kuwano: Jpn. J. Appl. Phys. 30 (1991) 3700.
• 4) N. Ibaraki: Digest of Tech. Papers of 1999 SID (Society for Information Display, 1999) p. 172.
• 5) K. Makihira, M. Yoshii, and T. Asano: Digest of The International Workshop on 2001 Active -Matrix Liquid-Crystal Displays -TFT Technologies and Related Materials- (c/o Business Center for Academic Societies Japan, Tokyo, 2001) p. 235.

Terms in the title (4)： CWレーザー ,  結晶化 ,  ディスプレイデバイス ,  応用