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J-GLOBAL ID：200902295848563821   Reference number：07A0748215

Development of the System for Finishing a Small

微小領域の仕上げシステムの開発

Author (4)： SUGIMORI HIROSHI (富山県工技セ) ,  SATO KAZUO (富山県工技セ) ,  UENO MINORU (富山県工技セ) ,  SANO TOORU (サンテック)
Material： 富山県工業技術センター研究報告  (Report of the Toyama Industrial Technology Center)
Issue： 21  Page： I.5-I.6  Publication year： Jul. 24, 2007 
JST Material Number： X0426B  ISSN： 0914-2207  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 微小領域 ,  仕上げ ,  開発