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J-GLOBAL ID：200902295992260370   Reference number：08A0657859

Height Dependence of Young’s Modulus for Carbon Nanopillars Grown by Focused-Ion-Beam-Induced Chemical Vapor Deposition

集束イオンビーム誘起化学蒸着により成長させた炭素ナノピラーのYoung率の高さ依存性

Author (8)： NONAKA Keiichiro (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  NONAKA Keiichiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TAMARU Kojiro (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  TAMARU Kojiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NAGASE Masao (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  YAMAGUCHI Hiroshi (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  WARISAWA Shin'ichi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ISHIHARA Sunao (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 47  Issue： 6 Issue 2  Page： 5116-5119  Publication year： Jun. 25, 2008 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： focused ion beam ,  Young's modulus ,  *nanostructure ,  *chemical vapor deposition ,  dependence ,  Carbon ,  resonance frequency ,  scanning electron microscope ,  MEMS ,  polynuclear aromatic hydrocarbon ,  *nanopillar ,  altitude dependence
Semi thesaurus term： altitude dependence

JST classification (1)： Crystal growth of other inorganic compounds  (BK13060T)

Substance index (1)： Phenanthrene

Reference (13)：

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• E. W. Wong, P. E. Sheehan, and C. M. Lieber: Science 277(1997)1971.
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• X. Li, T. Ono, Y. Wang, and M. Esashi: Appl. Phys. Lett.83(2003)3081.
• J. Fujita, M. Ishida, T. Sakamoto, Y. Ochiai, T. Kaito, and S. Matsui: J. Vac. Sci. Technol. B 19(2001)2834.

Terms in the title (8)： 集束イオンビーム ,  誘起 ,  化学蒸着 ,  成長 ,  炭素 ,  ナノピラー ,  Young率 ,  高さ依存性