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J-GLOBAL ID：200902296922845857   Reference number：07A0798564

Development of Confocal 3D X-ray Fluorescence Instrument and Its Applications to Micro Depth Profiling

共焦点型3次元蛍光X線分析装置の開発と微小部深さ方向分析への応用

Author (4)： TSUJI KOICHI (大阪市大 大学院工学研究科) ,  TSUJI KOICHI (JST-PRESTO) ,  NODERA YUTA (大阪市大 大学院工学研究科) ,  NAKANO KAZUHIKO (大阪市大 大学院工学研究科)
Material： 表面科学  (JSSSJ)
Volume： 28  Issue： 8  Page： 447-452  Publication year： Aug. 10, 2007 
JST Material Number： F0940B  ISSN： 0388-5321  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： confocal microscope ,...

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JST classification (2)： X-ray instruments and techniques  (BA02060D) ,  Analytical instruments  (CC02020S)

Reference (11)：

• 1) M.A. Kumakhov: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 48, 283 (1990).
• 2) Y. Yan and X. Ding: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 82, 121 (1993).
• 3) N. Gao and N. I. Y. Ponomarev: X-Ray Spectrom. 32, 186 (2003).
• 4) N. Gao and K. Janssens: “Polycapillary X-ray Optics”, in X-Ray Spectrometry: Recent Technological Advances, ed. by K. Tsuji, J. Injuk and R.E. Van Grieken (John Wiley & Sons, 2004).
• 5) 辻 幸一:ぶんせき8月号,378 (2006).

Terms in the title (8)： 共焦点 ,  3次元 ,  蛍光X線分析装置 ,  開発 ,  微小 ,  深さ方向 ,  分析 ,  応用