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J-GLOBAL ID：200902297322290670   Reference number：04A0543853

Application of Laser Scan Lithography to Fabrication of Microcylindrical Parts

レーザ走査リソグラフィーのマイクロ円柱部品作製への応用

Author (3)： JOSHIMA Y (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  KOKUBO T (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  HORIUCHI T (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 6B  Page： 4031-4035  Publication year： Jun. 30, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： parts ,...
Semi thesaurus term： turbine blade

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• 1) B. Loechel, R. Demmeler, M. Rothe, W. Bruenger, S. Fehlberg and G. Gruetzner: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>14</B> (1996) 4179.
• 2) M. Despont, H. Lorenz, N. Fahni, J. Brugger, P. Renaud and P. Vettiger: Tech. Dig. 10th IEEE Int. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (1997) p. 518.
• 3) K. Hirota, M. Ozaki and T. Horiuchi: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 4031.
• 4) Y. Joshima, T. Kokubo and T. Horiuchi: Ext. Abstr. JSPE Spring Meet. (2002) p. 564 [in Japanese].
• 5) Y. Joshima and T. Horiuchi: Ext. Abstr. JSAP, 50th Spring Meet. (2003) p. 820 [in Japanese].

Terms in the title (6)： レーザ走査 ,  リソグラフィー ,  マイクロ ,  円柱 ,  作製 ,  応用