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J-GLOBAL ID：200902297344134280   Reference number：05A0012194

Photoelectron Spectroscopy with a Pulsed EUV Source (EUPS)

パルスEUV光を用いた光電子分光(EUPS)

Author (7)： TOMIE TOSHIHISA (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  NISHIGOORI KENTARO (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  LEE D-H (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  LIN J-Q (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  MATSUSHIMA ISAO (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  MORIWAKI HIROKI (産業技術総合研 次世代半導体研究セ) ,  YASHIRO HIDEHIKO (産業技術総合研 次世代半導体研究セ)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 32  Issue： 12  Page： 793-798  Publication year： Dec. 15, 2004 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Photoelectron Spectroscopy ,...
Semi thesaurus term： ultraviolet photoelectron spectroscopy

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JST classification (3)： Electron spectroscopic determination of structures  (BK01050P) ,  Plasma devices  (BJ02082I) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Reference (19)：

• 富江敏尚. 特許第2764505, 英国特許
• 米国特許#5,569,916
• TOMIE, T. Proc. SPIE. 1997, 3157, 176
• 科振費総合研究課題成果報告. http://www.chousei-seika.com/2004_s/2004_s_7/2004_s_7_5koudobunseki/mokuji.htm
• KONDO, H. Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 2668

Terms in the title (3)： パルス ,  EUV光 ,  光電子分光