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J-GLOBAL ID：200902297945504727   Reference number：09A0806480

Development of a new type micro slurry-jet erosion (MSE) tester for evaluation of wear properties of hard thin coatings

薄い硬質被覆の摩耗特性の評価のための新型マイクロスラリー-噴流エロージョン(MSE)試験機の開発

Author (4)： IWAI Yoshiro (Univ. Fukui, Fukui, JPN) ,  MATSUBARA Tohru (Macoho Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  HIRAI Yuichi (Univ. Fukui, Fukui, JPN) ,  HOGMARK Sture (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
Material： Lubrication Science  (Lubr Sci)
Volume： 21  Issue： 6  Page： 213-226  Publication year： Jun. 2009 
JST Material Number： D0612D  ISSN： 0954-0075  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： slurry ,  wear characteristics ,  *thin film ,  alumina ,  wafer ,  abrasion resistance ,  titanium compound ,  nitride ,  high speed steel ,  *tribology ,  jet (flow) ,  *physical vapor deposition ,  silicon ,  *erosion corrosion ,  wear rate of friction material ,  Si wafer ,  monocrystal silicon ,  titanium nitride ,  mechanical property ,  resistance (endure)

JST classification (3)： Lubrication in general  (QB02010S) ,  Jets  (BC02080F) ,  Vapor plating  (WC08022K)

Terms in the title (10)： 硬質 ,  摩耗特性 ,  評価 ,  マイク ,  ロス ,  ラリー ,  噴流 ,  エロージョン ,  試験機 ,  開発