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J-GLOBAL ID：200902298207828778   Reference number：09A0599202

Ozone Killer by UV-Light Irradiation for Reduced Pressure and High Concentration Ozone Gas

紫外光分解反応を用いた減圧・高濃度オゾンガス分解装置

Author (8)： KAMEDA NAOTO (株式会社明電舎) ,  KAMEDA NAOTO (産業技術総合研究所) ,  NISHIGUCHI TETSUYA (株式会社明電舎) ,  NISHIGUCHI TETSUYA (産業技術総合研究所) ,  MORIKAWA YOSHIKI (株式会社明電舎) ,  KEKURA MITSURU (株式会社明電舎) ,  NONAKA HIDEHIKO (産業技術総合研究所) ,  ICHIMURA SHINGO (産業技術総合研究所)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 52  Issue： 4  Page： 245-247 (J-STAGE)  Publication year： 2009 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraviolet irradiation ,  *photolysis/photodisintegration ,  *ozone ,  flow rate ,  concentration dependence

JST classification (1)： Photochemical reactions  (CB08020F)

Reference (11)：

• 1) A Tosaka, T. Nishiguch, H. Nonaka and S. Ichimura: Jpn. J. Appl. Phys., 44 (2005) L1144-L1146.
• 2) A. Tosaka, T. Nishiguchi, H. Nonaka and S. Ichimura: Shinku, 48 (2005) 309-312.
• 3) A. Tosaka, T. Nishiguchi, H. Nonaka and S. Ichimura: Shinku, 49 (2006) 123-125.
• 4) N. Kameda, T. Nishiguchi, Y. Morikawa, M. Kekura, H. Nonaka and S. Ichimura: J. Electrochem. Soc., 154 (9), H769-H772 (2007).
• 5) N. Kameda, T. Nishiguchi, Y. Morikawa, M. Kekura, H. Nonaka and S. Ichimura: Shinku, 50 (2007) 208-210.

Terms in the title (6)： 紫外光 ,  分解反応 ,  減圧 ,  高濃度 ,  オゾンガス ,  分解装置