Art

J-GLOBAL ID：200902298773233315   Reference number：04A0206138

Effects of Surface Roughness and Downstream Pressure of Passages on Rarefied Gas Flows-Manufacture of the Flow Measurement System for Rarefied Gases-

希薄気体流における流路の表面形状と下流側圧力の影響-真空用微小流量測定システムの製作-

Author (3)： SUGIYAMA WATARU (秋田大 工学資源) ,  SAWADA TADASHI (秋田大 工学資源) ,  YABUKI MASUHISA (秋田大 工学資源)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 47  Issue： 2  Page： 70-75  Publication year： Feb. 20, 2004 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum equipment ,...
Semi thesaurus term： コンダクタンス【気体流】

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0206138&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0194A") }}

JST classification (2)： Rarefied gas dynamics  (BC04000J) ,  Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Reference (3)：

• 杉山渉. 機論, B. 1996, 62, 596, 1307
• 澤田雅. 真空. 1991, 34, 3, 311
• HOJO, H. Proc. 7th Intern. Vac. Congr. & 3rd Intern. Conf. Solid Surfaces, Vienna, 1997. 1997, 117

Terms in the title (9)： 希薄気体流 ,  流路 ,  表面形状 ,  下流 ,  側圧力 ,  真空 ,  微小 ,  流量測定システム ,  製作