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J-GLOBAL ID：200902299030343902   Reference number：07A0501314

XPSスペクトルにおけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のアモルファス性の解析

Author (6)： TAKABAYASHI SUSUMU (広島大 大学院) ,  MOTOMITSU KUNIHIKO (広島大 大学院) ,  OKAMOTO KEISHI (広島大 大学院) ,  OKAMOTO KEISHI (トーヨーエイテック) ,  NAKATANI TATSUYUKI (トーヨーエイテック) ,  TAKAHAGI TAKAYUKI (広島大 大学院)
Material： 表面技術協会講演大会講演要旨集
Volume： 115th  Page： 198-199  Publication year： Feb. 22, 2007 
JST Material Number： Y0050A  ISSN： 0917-2947  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *X-ray photoelectron spectroscopy ,...
Semi thesaurus term： silicon substrate ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (7)： XPS ,  スペクトル ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  DLC ,  薄膜 ,  アモルファス ,  解析