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J-GLOBAL ID：200903000016234112

強誘電体薄膜処理排ガスの除害処理方法

Inventor： 折原 逸雄 ,  福島 守之 ,  茂木 栄作
Applicant, Patent owner： 関東電化工業株式会社
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996222660
Publication number (International publication number)：1998057761
Application date： Aug. 23, 1996
Publication date： Mar. 03, 1998
Summary：

【要約】【課題】 成膜材料として有機金属化合物を用いる強誘電体薄膜生成工程から排出される未反応有機金属化合物及び/またはその分解生成物を含む排ガスを簡便な装置及び操作で効率的に処理して無害化すること。【解決手段】 金属酸化物単独、または金属酸化物と金属との混合物からなる触媒を用いて、好ましくは約50°C以上の温度で強誘電体薄膜処理排ガスを接触処理して無害化する。

Claim (excerpt)：

成膜材料として使用の有機金属化合物の未反応物及び/または分解物を含む強誘電体薄膜処理排ガスを、金属酸化物単独または金属酸化物と金属との混合物からなる触媒と接触させることを特徴とする上記排ガスの除害処理方法。

IPC (9)：

B01D 53/86 ZAB ,  B01J 21/04 ,  B01J 21/08 ZAB ,  B01J 23/42 ,  B01J 23/72 ,  B01J 23/745 ,  B01J 23/75 ,  B01J 23/755 ,  H01L 21/205

FI (9)：

B01D 53/36 ZAB G ,  B01J 21/04 A ,  B01J 21/08 ZAB A ,  B01J 23/42 A ,  B01J 23/72 A ,  H01L 21/205 ,  B01J 23/74 301 A ,  B01J 23/74 311 A ,  B01J 23/74 321 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 有害排ガスの除害方法及び除害剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-324408   Applicant：日本酸素株式会社
• 有害ガスの浄化方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-237366   Applicant：日本パイオニクス株式会社
• 特公平8-024819
  
• 特公昭61-020333