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J-GLOBAL ID：200903000021980000
超純水製造装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992225681
Publication number (International publication number)：1994063592
Application date： Aug. 25, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 TOCが著しく低減された超純水を製造する。【構成】 生物処理手段1を含む原水の前処理装置A、一次純水製造装置B及び二次純水製造装置Cを備える超純水製造装置。【効果】 従来の前処理装置では除去し得ず、超純水中のTOC源となる、原水中の尿素を高度に除去することができ、TOC濃度が著しく低減された超純水を得ることが可能とされる。
Claim (excerpt)：
原水の前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置を備える超純水製造装置において、該前処理装置は、生物処理手段を含むことを特徴とする超純水製造装置。
IPC (3)：
C02F 9/00
, C02F 1/42
, C02F 1/44
Cited by examiner (7)
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