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J-GLOBAL ID:200903000033988899

耐腐食性配線およびこれを用いる能動素子並びに表示装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 若林 忠
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996243043
Publication number (International publication number):1998091089
Application date: Sep. 13, 1996
Publication date: Apr. 10, 1998
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、低抵抗および低コストであるAl材料の特性を失うことなく、フォトリソグラフィー工程中にアルカリ現像液によるAl-ITO間の電気腐食反応を効果的にしかも簡便に抑制しうる配線または電極、およびこれらを用いる薄膜トランジスタ等の能動素子を提供することを目的とする。【解決手段】 導電材料として、透明導電膜と、アルカリ腐食速度が純アルミニウムより小さいアルミニウム合金膜とを有し、かつこの透明導電膜とアルミニウム合金膜とが少なくとも1箇所で接触または積層しており、少なくとも1回のアルカリ現像液を用いるフォトリソグラフィー工程により製造されることを特徴とする配線または電極。
Claim (excerpt):
導電材料として、透明導電膜と、アルカリ腐食速度が純アルミニウムより小さいアルミニウム合金膜とを有し、かつこの透明導電膜とアルミニウム合金膜とが少なくとも1箇所で接触または積層しており、少なくとも1回のアルカリ現像液を用いるフォトリソグラフィー工程により製造されることを特徴とする配線または電極。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平1-134426
  • 液晶表示装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-306549   Applicant:三洋電機株式会社

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