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J-GLOBAL ID：200903000034006631

照明光学装置

Inventor： 小椋 行夫
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991225744
Publication number (International publication number)：1993067556
Application date： Sep. 05, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】紫外線を用いた半導体露光装置の照明を効率よくおこなう。【構成】紫外光発生装置と被照射面の輝度分布を均一にするためのホモジナイザーと被照射面に設置されたマスクを照明するための集光レンズより構成され、ホモジナイザーと集光レンズがゾーンプレートより構成されている。ゾーンプレートで実現することによりガラスによる紫外光の吸収を少なくすることができる。

Claim (excerpt)：

光束を供給する光源と、該光束の強度分布を均一にするための光学素子と、被照射物体を照明する光学素子を有する照明光学装置において、前記光束の強度分布を均一にするための光学素子および被照射物体を照明する光学素子がゾーンプレートで構成されていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L