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J-GLOBAL ID:200903000041731309
電流検出回路及び電流検出回路検査方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (6):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007291968
Publication number (International publication number):2009115745
Application date: Nov. 09, 2007
Publication date: May. 28, 2009
Summary:
【課題】ウェハテスト時と製品時との電流検出回路におけるモニタ出力の差を解消し、歩留まりを改善する電流検出回路及び電流検出回路検査方法を提供する。【解決手段】複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する検出抵抗12と、検出抵抗12の入力側に接続された複数の入力側パッドP1,P2,P3と、検出抵抗12の出力側に接続された複数の出力側パッドP4,P5,P6と、検出抵抗12の両端の電圧を入力して増幅し負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る増幅器14とを有する電流検出回路10aにおいて、複数の入力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線16a,16b,16cを介して増幅器14が有する一対の入力端子の一方に接続され、複数の出力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線16d,16e,16fを介して増幅器14が有する一対の入力端子の他方に接続される。【選択図】図1
Claim (excerpt):
複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する電流検出用抵抗群と、前記電流検出用抵抗群の入力側に接続された複数の入力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の出力側に接続された複数の出力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の両端の電圧を入力して増幅し前記負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る差動増幅器とを有する電流検出回路において、
前記複数の入力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線を介して前記差動増幅器が有する一対の入力端子の一方に接続され、
前記複数の出力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線を介して前記差動増幅器が有する一対の入力端子の他方に接続されることを特徴とする電流検出回路。
IPC (3):
G01R 19/00
, H01L 21/66
, G01R 31/00
FI (3):
G01R19/00 B
, H01L21/66 B
, G01R31/00
F-Term (16):
2G035AA01
, 2G035AB01
, 2G035AC02
, 2G035AD03
, 2G035AD10
, 2G035AD20
, 2G036AA19
, 2G036BA12
, 2G036BA36
, 2G036BB12
, 2G036CA10
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
ソレノイド電流検出回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-106890
Applicant:株式会社日立製作所
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