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J-GLOBAL ID：200903000043145890

圧電素子

Inventor： 佐藤 明生 ,  片山 晶雅 ,  日比野 真吾
Applicant, Patent owner： 東海ゴム工業株式会社
Agent (1)： 西藤 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999078582
Publication number (International publication number)：2000277825
Application date： Mar. 23, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】圧電性の指標となる圧電定数と、柔軟性の指標となる曲げ剛性を、特定の範囲内に限定することにより、センサ等の電子部品として使用可能なレベルの圧電素子を提供する。【解決手段】可撓性基板15の両面に圧電結晶薄膜16が形成され、この圧電結晶薄膜16に電極層20が取り付けられた圧電素子21であって、圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103 N・mmに設定されている。

Claim (excerpt)：

可撓性基板の片面もしくは両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が取り付けられた圧電素子であって、圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103 N・mmに設定されていることを特徴とする圧電素子。

IPC (2)：

H01L 41/09 ,  G01L 1/16

FI (2)：

H01L 41/08 C ,  G01L 1/16 A