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J-GLOBAL ID：200903000067871850
基板検査装置および基板検査方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古谷 栄男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998241585
Publication number (International publication number)：2000074975
Application date： Aug. 27, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ユニバーサル型の検査装置でファインピッチの基板の検査を短時間で行なう。【解決手段】 スイッチ部SW1には、信号源46から一定電圧Eが与えられる。コンピュータ44は、スイッチ部SW2をONとし、つぎにスイッチ部SW1をONとする。これにより、等価回路が閉じて電流iが流れ、アンプ74への入力電圧Vxが生ずる。電圧Vxは、アンプ74により増幅されたのち、ピークホールド回路76により、その最大値が検出され保持される。コンピュータ44は、当該最大値に基づいて、基板32のプリントパターンの導通状態を判定する。アンプ74への入力電圧Vxは、ほぼ、スイッチ部SW1がONとなると同時に、最大の電圧を示す。したがって、最大値検出処理を極く短時間で終了することができる。このため、プリントパターンの導通状態の判定処理を、極めて短い時間で行なうことが可能となる。
Claim 1：
検査装置側の第1の端子を被検査基板の検査対象配線の一端側の端部と非接触結合し、検査装置側の第2の端子から前記検査対象配線に試験信号を供給し、前記第1の端子で検出される信号に基づいて、被検査基板の検査対象配線の導通短絡検査を行なう基板検査装置において、格子状配置と一致する配置関係で第3の端子を複数配置するとともに、前記第1と前記第3の端子のいずれかとを、前記第2の端子と前記第3の端子のいずれかを電気的に接続し、かつ、前記試験信号を、急激な変化を有する信号としたこと、を特徴とする基板検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (5)：
2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AA13
, 2G014AB59
, 2G014AC09
