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J-GLOBAL ID：200903000071751975

多軸加速度センサ及びその製造方法

Inventor： 平田 善明 ,  番 政広 ,  紺野 伸顕
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997215075
Publication number (International publication number)：1999051967
Application date： Aug. 08, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 従来の加速度センサでは、加速度の1軸方向の検出に限定されたが、1つのセンサエレメントで加速度の2軸もしくは3軸方向の加速度が測定可能で低コストの多軸加速度センサを得る。【解決手段】 1つのセンサエレメント内に面内2軸、面外1軸変位が可能な可動電極構造を作成し、それぞれの検出軸に一定の空隙を介して検出用固定電極を設けて可動電極ー固定電極の容量変化を検出することにより2軸もしくは3軸の加速度成分を検出する。センサの動特性の調整は、可動電極の質量と可動電極を支持する梁の構造、長さ、断面の長さ比で行う。

Claim (excerpt)：

単結晶シリコンからなり、ウエハ面内に1つ以上の質量体を有し、この質量体を複数の方向に変位可能とする1つ以上の梁で保持し、加速度による質量体の複数の方向の変位を静電容量で検出する変位検出手段を有し、複数の軸方向の加速度検出をする多軸加速度センサ。

IPC (3)：

G01P 15/125 ,  G01L 5/16 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01P 15/125 ,  G01L 5/16 ,  H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 加速度センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-299195   Applicant：松本佳宣, 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
• 半導体加速度センサの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-147075   Applicant：日産自動車株式会社
• 特開平4-169856
  
• 慣性力センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-160171   Applicant：三菱電機株式会社