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J-GLOBAL ID：200903000090723290

縦型炉

Inventor： 笠島 信篤 ,  盛満 和広
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997238852
Publication number (International publication number)：1999067678
Application date： Aug. 20, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】べローズの小口径化により製作費の低減化を図り、又、反応管が傾いてもウェーハを水平に保持可能な縦型炉を提供する。【解決手段】被処理基板を水平姿勢で多段に保持するボートをボートエレベータにより下方から反応室26へ装入、引出し、前記ボートを支持する炉口蓋30により前記反応室下端開口を閉塞する縦型炉に於いて、前記炉口蓋が、通孔39を穿設したシールキャップ33と、該シールキャップの下方に位置するベース31と、該ベースと前記シールキャップとの間に設けられ前記通孔を閉塞するべローズ32とを有し、前記ボートが前記べースに立設され前記通孔を貫通する連結棒34を介して支持される様構成し、前記反応室の下端開口部を気密に閉塞し、前記キャップ受け上の前記ボートに被処理基板を水平姿勢で保持した状態で該被処理基板に各種処理を施す。

Claim (excerpt)：

被処理基板を水平姿勢で多段に保持するボートをボートエレベータにより下方から反応室へ装入、引出し、前記ボートを支持する炉口蓋により前記反応室下端開口を閉塞する縦型炉に於いて、前記炉口蓋が、通孔を穿設したシールキャップと、該シールキャップの下方に位置するベースと、該ベースと前記シールキャップとの間に設けられ前記通孔を閉塞するべローズとを有し、前記ボートが前記べースに立設され前記通孔を貫通する連結棒を介して支持されることを特徴とする縦型炉。

IPC (2)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205

FI (2)：

H01L 21/22 511 B ,  H01L 21/205