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J-GLOBAL ID：200903000101630248

粒子線結像装置、粒子線結像装置に設けられるスペクトロメータ、粒子線結像方法及び粒子線結像装置の使用方法

Inventor：
フィリッペ・シュタイプ

About フィリッペ・シュタイプ


Applicant, Patent owner：
シュタイプ・インストルメンテ・ゲーエムベーハー

About シュタイプ・インストルメンテ・ゲーエムベーハー


Agent (1)： 芦田 哲仁朗 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998016432
Publication number (International publication number)：1998208682
Application date： Jan. 13, 1998
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】 高いエネルギー分解能及び角度分解能を有し、特定のエネルギ分布と角度分布を有する粒子線の結像装置、その方法、この装置を用いた方法及びこの装置に用いたスペクトロメータを開示する。【解決手段】 エネルギ分布及び角度分布を有する荷電粒子の結像装置及び方法において、該結像装置に、通過する粒子線(109)の粒子線路をその間隔が粒子の角度分布に対応する平行粒子線路にする変向手段(110,111,112)を設け、この偏向手段に該粒子線路が指向される平坦な半透濾過電極(113,114)を設け、該濾過電極に所定の減加速電界を形成する電位差を掛けて該粒子流に該濾過電極を通過させしめ、該粒子の特定のエネルギ分解能及び角度分解能を表示する。
Claim (excerpt)：
減加速電界を形成する電位差が生じるように荷電され得、粒子線が選択されたエネルギに応じて通過できるように形成された半透濾過濾過電極を有する、所定のエネルギ分布と角度分布を有し荷電粒子を含む粒子線を検出器手段に結像するための粒子線結像装置において、前記粒子線を平行にして、前記半透濾過電極に指向され相互間隔が粒子線の角度分布に対応する実質的に平行な粒子路を通過させる変向手段を設けたことを特徴とする粒子線結像装置。
IPC (6)：
H01J 37/244 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/295 ,  H01J 49/44
FI (6)：
H01J 37/244 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/22 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/295 ,  H01J 49/44
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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