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J-GLOBAL ID:200903000109517858

赤外線センサとその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993093841
Publication number (International publication number):1994283766
Application date: Mar. 30, 1993
Publication date: Oct. 07, 1994
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 単一素子で移動している物体からの赤外線も停止している物体からの赤外線も精度よく検出できる赤外線センサを提供することを目的とする。【構成】 半導体基板の表面に形成した同一の上面絶縁薄膜11上に焦電素子部15とサーモパイル部19,20を非接触構造に一体に形成した。
Claim 1:
半導体基板の表面に形成しその周辺部に囲われた中央部領域下の半導体基板層を除去して空胴域を設けた上面絶縁薄膜上に、積層構造に配設した下部電極と焦電体薄膜と上部電極とからなる焦電素子部と、該焦電素子部と非接触構造に配設した複数の熱電対からなるサーモパイル部を備えたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3):
H01L 37/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 35/32
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平4-360588

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