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J-GLOBAL ID：200903000113857116
マトリクス配線の形成方法、該方法により形成されたマトリクス配線、これを用いた電子源、該電子源の製造方法並びに画像表示装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996044881
Publication number (International publication number)：1997245691
Application date： Mar. 01, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 安価で工程数が少なく、相互の電気的接続部分の信頼性が図れ、簡単なマトリクス配線による低抵抗化を実現しより高密度で高品位な画像が実現可能なマトリクス配線の形成方法、電子源、該電子源の製造方法並びに画像表示装置を提供する。【解決手段】 行方向配線及び列方向配線が互いに接触しないように配線を構成する一部である交差部を除いて同時形成した後、前記交差部の領域上に絶縁層を介して再度、前記行方向配線及び前記列方向配線が互いに接触しないように前記配線を構成する一部である交差部を除いて同時形成して得られた複数の層からなる前記行方向配線と前記列方向配線が互いに絶縁されるよう形成したことを特徴とする。
Claim 1：
複数の行方向配線及び複数の列方向配線とを交差させて形成されるマトリクス配線の形成方法において、前記行方向配線及び前記列方向配線が互いに接触しないように前記配線を構成する一部である交差部を除いて同時形成した後、前記交差部の領域上に絶縁層を介して再度、前記行方向配線及び前記列方向配線が互いに接触しないように前記配線を構成する一部である交差部を除いて同時形成して得られた複数の層からなる前記行方向配線と前記列方向配線が互いに絶縁されるように形成したことを特徴とするマトリクス配線の形成方法。
IPC (4)：
H01J 31/12
, H01J 1/30
, H01J 9/02
, H04N 5/68
H01J 31/12 C
, H01J 1/30 B
, H01J 9/02 B
, H04N 5/68 B
