質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法および治具

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002305206
Publication number (International publication number)：2004139911
Application date： Oct. 21, 2002
Publication date： May. 13, 2004
Summary：

【課題】イオン源ケーシングDの真空を破ったり、目視に頼ったりすることなく、再現性良くキャピラリーカラムBの先端位置を位置決めすることのできる質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法および質量分析装置用イオン源のためのカラム位置決め用治具を提供する。【解決手段】ベースチャンバーからインナーチャンバーに向けてカラムを挿入するに当たり、インナーチャンバーの代わりに、インナーチャンバーと同じ外形の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たないカラム位置決め用治具を予めベースチャンバーに固定・保持させた上で、該カラム位置決め用治具に突き当たるまでカラムを挿入させ、カラムの挿入深さを位置合わせするようにした。また、カラム位置決め用治具の形状は、インナーチャンバーの外形と同形状、同寸法の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たない盲栓構造をしている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

真空容器内に配置されるとともに、カラムから供給される試料ガスを内部に導入できる試料導入口を備え、該試料導入口から導入された試料ガスを内部でイオン化するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持でき、かつ、カラムをインナーチャンバーに向けて挿入できる挿入手段をインナーチャンバーの試料導入口と当接する位置に備えたベースチャンバーとから成り、該ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、前記インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法であって、ベースチャンバーからインナーチャンバーに向けてカラムを挿入するに当たり、インナーチャンバーの代わりに、インナーチャンバーと同じ外形の部位を持ち、その部位に試料導入口を持たないカラム位置決め用治具を予めベースチャンバーに固定・保持させた上で、該カラム位置決め用治具に突き当たるまでカラムを挿入させ、カラムの挿入深さを位置合わせするようにしたことを特徴とする質量分析装置用イオン源のカラム位置決め方法。

IPC (4)：

H01J49/04 , G01N27/62 , G01N30/72 , H01J49/10

FI (5)：

H01J49/04 , G01N27/62 C , G01N27/62 G , G01N30/72 F , H01J49/10

F-Term (4)：

5C038EE01 , 5C038EF03 , 5C038EF31 , 5C038EF33

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