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J-GLOBAL ID：200903000129819249

窒化珪素粉末、窒化珪素粉末の製造方法及び窒化珪素質焼結体

Inventor： 桑原 治由 ,  大塚 昭男 ,  樫田 周
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991211549
Publication number (International publication number)：1993032405
Application date： Jul. 29, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高純度で、しかも寸法精度、高温強度に優れ、半導体関連分野や各種エンジン部品などの純度や高温特性に対する要求が非常に厳しい分野にも十分に対応し得る窒化珪素質焼結体を得る。【構成】 純度99.999重量%以上の金属珪素粉末を水素と窒素との混合ガス又はアンモニアガス中で加熱して直接窒化した後、粉砕し、酸処理を行なうことにより、平均粒子径が0.3〜1μm、比表面積が6〜15m2/g、内部酸素含有量が0.1重量%以下、外部酸素量が0.4重量%以下、炭素含有量が0.1重量%以下、金属不純物の合計量が0.02重量%以下である高純度の窒化珪素粉末が得られ、この窒化珪素粉末を成型、焼結することにより、窒化珪素質焼結体を得る。

Claim (excerpt)：

平均粒子径が0.3〜1μm、比表面積が6〜15m2/g、内部酸素含有量が0.1重量%以下、外部酸素量が0.4重量%以下、炭素含有量が0.1重量%以下、金属不純物の合計量が0.02重量%以下であることを特徴とする窒化珪素粉末。

IPC (2)：

C01B 21/068 ,  C04B 35/58 102