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J-GLOBAL ID：200903000139438405

カーボンナノチューブ配線板及びその製造方法

Inventor：
永野 孝幸

About 永野 孝幸

, 
谷 由加里

About 谷 由加里

, 
柴田 典義

About 柴田 典義


Applicant, Patent owner：
財団法人ファインセラミックスセンター

About 財団法人ファインセラミックスセンター


Agent (2)： 小島 清路 ,  谷口 直也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002186655
Publication number (International publication number)：2004031679
Application date： Jun. 26, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：
【課題】所定の方向に高配向するカーボンナノチューブによって所定のパターンに形成されたカーボンナノチューブ配線板及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のカーボンナノチューブ配線板は、基板と、該基板に配設され且つカーボンナノチューブからなる配線パターンと、を備える。この製造方法は、炭化珪素3の表面にカーボンナノチューブの生成を抑制する抑制膜4(酸化珪素膜等)を形成する工程と、該抑制膜4を所定のパターンにエッチングする工程と、エッチング後の炭化珪素を微量酸素の含有する雰囲気において、該炭化珪素が分解して該炭化珪素の表面から珪素原子が失われる温度に加熱する工程と、を順次備え、上記パターンに従ってカーボンナノチューブからなる配線パターン2が形成された配線板を製造するものである。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
基板と、該基板に配設され且つカーボンナノチューブからなる配線パターンと、を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ配線板。
IPC (5)：
H05K1/09 ,  B32B9/00 ,  C01B31/02 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00
FI (6)：
H05K1/09 Z ,  B32B9/00 A ,  C01B31/02 101F ,  H01B5/14 B ,  H01B13/00 503A ,  H01B13/00 503D
F-Term (32)：
4E351AA01 ,  4E351AA06 ,  4E351AA11 ,  4E351AA14 ,  4E351BB01 ,  4E351CC31 ,  4E351CC33 ,  4E351CC40 ,  4E351DD29 ,  4E351DD56 ,  4E351EE03 ,  4F100AA16A ,  4F100AD11B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA07 ,  4F100DC21 ,  4F100EJ152 ,  4F100EJ422 ,  4F100GB41 ,  4F100JG01A ,  4G146AA07 ,  4G146AB08 ,  4G146AC03 ,  4G146AD21 ,  4G146BA38 ,  4G146BC03 ,  4G146BC24 ,  4G146BC34A ,  4G146BC35A ,  5G323CA01 ,  5G323CA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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