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J-GLOBAL ID：200903000145857509
変位情報検出装置及び速度計
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991255784
Publication number (International publication number)：1993018982
Application date： Sep. 06, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】 波長によらず速度に対応したドップラー信号が得られ、高精度の速度信号が得られる変位情報検出装置及び速度計を得ること。【構成】 波長λの光を発生する照明手段と、導波部を有し照明手段からの光を導波部内に入射させて物体上に導く光学手段と、照明手段からの光を回折するため導波部に一体的に設けられた回折格子と、回折格子からの回折光を物体上に入射させるため導波部に一体的に設けられた光学素子と、物体の変位に関する情報を検出すべく光学手段が光を入射させた物体からの光を検出する光検出手段を有し、光学素子は所定方向と回折光路とを含む面内にて所定方向に垂直な方向と回折光とが成す角が角度θとなるように回折光を物体上に入射させ、回折格子と光学素子は照明手段からの光の波長λの変化に左右されずsinθ/λが実質的に一定になるように配置されていること。
Claim (excerpt)：
所定方向に沿った物体の変位に関する情報を検出する装置で、波長λの光を発生する照明手段と、導波部を有し前記照明手段からの光を該導波部内に入射させて前記物体上に導く光学手段と、前記照明手段からの光を回折するため前記導波部に一体的に設けられた回折格子と、該回折格子からの回折光を物体上に入射させるため前記導波部に一体的に設けられた光学素子と、前記物体の変位に関する情報を検出すべく前記光学手段が光を入射させた物体からの光を検出する光検出手段を有し、前記光学素子は前記所定方向と回折光路とを含む面内にて前記所定方向に垂直な方向と前記回折光とが成す角が角度θとなるように回折光を物体上に入射させ、前記回折格子と光学素子は前記照明光からの光の波長λの変化に左右されずsinθ/λが実質的に一定になるように配置されていることを特徴とする変位情報検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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