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J-GLOBAL ID:200903000153832515

照明装置の光強度分布の調整方法及び評価方法、照明装置、露光装置及びデバイス製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 齋藤 和則 ,  伊東 哲也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007013183
Publication number (International publication number):2008181980
Application date: Jan. 23, 2007
Publication date: Aug. 07, 2008
Summary:
【課題】照明装置の照明瞳面の光強度分布を外形や不均一分布も考慮し高精度に目標とする光強度分布と実質的に等価な光強度分布に調整する照明装置の光強度分布の調整方法及び評価方法を提供する。【解決手段】照明瞳面に形成された第1の光強度分布を計測し、第1の光強度分布と目標とする第2の光強度分布の領域内の各点の光強度を所定の中心点に関して周方向に積分して光強度動径分布を求め(ステップ4)、光強度動径分布を前記中心点に関して径方向に積分した径方向の積算光量分布を求め(ステップ5)、第1の光強度分布と第2の光強度分布の径方向の積算光量分布の少なくとも3点以上の各点における差分の自乗和を求め(ステップ6)、その差分の自乗和に基づいて第1の光強度分布を調整する(ステップ7)。【選択図】 図5
Claim 1:
光源からの光束に基づいて被照射面を照明する照明装置の照明瞳面に形成された円形もしくは輪帯形状の第1の光強度分布を、目標とする円形もしくは輪帯形状の第2の光強度分布と実質的に等価な光強度分布に調整する照明装置の光強度分布の調整方法であって、 前記第1の光強度分布を計測する計測工程と、 前記計測工程で計測された前記第1の光強度分布と前記第2の光強度分布の領域内の各点の光強度を所定の中心点に関して周方向に積分して光強度動径分布を求める工程と、 前記光強度動径分布を前記中心点に関して径方向に積分した径方向の積算光量分布を求める工程と、 前記第1の光強度分布と前記第2の光強度分布の径方向の積算光量分布の少なくとも3点以上の各点における差分を求める工程と、 前記径方向の積算光量分布の差分に基づいて前記第1の光強度分布を調整する調整工程と、を有することを特徴とする照明装置の光強度分布の調整方法。
IPC (1):
H01L 21/027
FI (1):
H01L21/30 516D
F-Term (10):
5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)

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