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J-GLOBAL ID:200903000163665730

基板検査装置および基板検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (6): 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  箱崎 幸雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006035297
Publication number (International publication number):2007212398
Application date: Feb. 13, 2006
Publication date: Aug. 23, 2007
Summary:
【課題】歪みが無く、コントラストの良い検出画像を取得する。【解決手段】電子ビームを生成して試料Sに照射する電子銃部20と、電子ビームの照射により前記試料の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出する電子検出部40と、を含む電子ビーム装置10を備える基板検査装置1において、イオンを生成し、電子銃10部による電子ビームの照射に先立って試料Sにイオンを照射することにより、試料Sの表面層における局所的な電位差を解消する表面電位均一化装置150をさらに備える。【選択図】図4
Claim (excerpt):
電子ビームを生成して基板に照射する電子ビーム照射手段と、 前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を出力する電子検出手段と、 イオンを生成し、前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する表面電位均一化手段と、 を備える基板検査装置。
IPC (4):
G01N 23/225 ,  G01N 23/20 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/66
FI (4):
G01N23/225 ,  G01N23/20 ,  H01J37/20 H ,  H01L21/66 J
F-Term (32):
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA20 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001EA05 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA07 ,  2G001JA13 ,  2G001JA14 ,  2G001JA15 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001RA10 ,  2G001RA20 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DJ04 ,  5C001CC04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)

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