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J-GLOBAL ID：200903000170165859

カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこれを用いた走査型探針顕微鏡並びに情報処理装置

Inventor： 渡邊 信男 ,  高松 修 ,  鈴木 義勇 ,  島田 康弘 ,  中山 優
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993191631
Publication number (International publication number)：1995021968
Application date： Jul. 06, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】 走査型探針顕微鏡等に用いられ、大きな変位によっても電気的なショートを回避し得るカンチレバー型プローブを提供する。【構成】 基板101上の固定電極103には絶縁体からなる凸状部位104が設けられており、基板101に支持され固定電極103に対向する対向電極を兼ねる導電性のカンチレバー106の自由端部には、絶縁層107を介して探針108が設けられているカンチレバー型プローブ。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された固定電極と、該固定電極に対向する対向電極を有し前記基板上に設けられたカンチレバーとを備えたカンチレバー型変位素子において、前記基板と前記カンチレバーとの間で且つ該基板表面あるいは該カンチレバーの基板側の面に凸状部位を有することを特徴とするカンチレバー型変位素子。

IPC (3)：

H01J 37/28 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00