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J-GLOBAL ID：200903000172164191

薄膜センサーの取付け方法

Inventor： 篠原 譲司 ,  永田 英里 ,  国京 利一
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993004120
Publication number (International publication number)：1994213690
Application date： Jan. 13, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 耐熱性の良好な薄膜センサーの取付け方法を提供する。【構成】 機械部品1の温度などを計測すべく薄膜センサー9を取付ける方法において、部品1表面に耐熱金属層2を形成し、その耐熱金属層2上に、窒化ケイ素層3,5,とアルミナ層4,6または窒化ケイ素層10,12,と窒化ホウ素層11とを交互に積層した絶縁薄膜8,13を形成すると共にその絶縁薄膜に薄膜センサー9を取り付けたことを特徴としている。

Claim 1：

機械部品の温度などを計測すべく薄膜センサーを取付ける方法において、部品表面に耐熱金属層を形成し、その耐熱金属層上に窒化ケイ素層とアルミナ層とを交互に積層した絶縁薄膜を形成すると共にその絶縁薄膜に薄膜センサーを取り付けたことを特徴とする薄膜センサーの取付け方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開平4-318420
  
• 特開平4-103167
  
• 特開昭54-102146
  
• 特開平3-251755
  

Cited by examiner (1)

• 特開平4-294747