Pat

J-GLOBAL ID：200903000186437557

表面弾性波素子

Inventor： 北林 弘之 ,  中幡 英章 ,  桧垣 賢次郎 ,  藤井 知 ,  鹿田 真一
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995276260
Publication number (International publication number)：1997098059
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】 良好な伝搬速度V及び周波数温度特性TCFを実現し、且つ、良好な伝搬損失をも実現することにより、高周波領域で優れた動作特性を有する表面弾性波素子を提供する。【解決手段】 (i)ダイヤモンド層と、(ii)厚さt3 をもってダイヤモンド層の上に形成される櫛型電極と、(iii)t1 /t3 ≧10たる厚さt1 をもって、ダイヤモンド層の上に、櫛型電極を覆って形成される多結晶C軸配向性のZnO層と、(iv)厚さt2 をもってZnO層の上に形成されるSiO2 層とを備え、0次モードの表面弾性波の波長λについて、kh1=2πt1 /λ、kh2=2πt2 /λで与えられるkh1及びkh2に関して、図1の領域ABCDEFA内に与えられる。

Claim (excerpt)：

(i)ダイヤモンド層と、(ii)厚さt3 をもって前記ダイヤモンド層の上に形成される櫛型電極と、(iii)t1 /t3 ≧10たる厚さt1 をもって、前記ダイヤモンド層の上に、前記櫛型電極を覆って形成される多結晶C軸配向性のZnO層と、(iv)厚さt2 をもって前記ZnO層の上に形成されるSiO2 層とを備える表面弾性波素子であって、0次モードの表面弾性波の波長λについて、kh1=2πt1 /λ、kh2=2πt2 /λで与えられるkh1及びkh2に関して、縦軸にkh1、横軸にkh2を与える2次元直交座標グラフにおいて、座標(kh1=0.300,kh2=0.115)で与えられる点Aと、座標(kh1=0.280,kh2=0.090)で与えられる点Bと、座標(kh1=0.200,kh2=0.260)で与えられる点Cと、座標(kh1=0.200,kh2=0.530)で与えられる点Dと、座標(kh1=0.290,kh2=0.540)で与えられる点Eと、座標(kh1=0.300,kh2=0.520)で与えられる点Fと、前記点Aとを順に線分で結ぶ6本の線分から成る領域ABCDEFAの前記6本の線分上を含む内部に、kh1とkh2とが与えられることを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145

FI (2)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 表面弾性波素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-222475   Applicant：住友電気工業株式会社
• 特開平1-236712
  
• 特開昭60-041315
  
• 特開昭58-064815
  
• 特開昭54-119863