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J-GLOBAL ID：200903000187037838

磁気ヘッドとその製造方法

Inventor： 西山 哲 ,  緒方 潔 ,  鞍谷 直人 ,  江部 明憲
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 谷川 昌夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992045601
Publication number (International publication number)：1993250769
Application date： Mar. 03, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 コストが低く加工性の良い材料でテープガイド本体を作製でき、しかも、少なくともそのテープガイド面が高硬度に形成され、それによって該テープガイドの耐摩耗性が向上し、延いては磁気ヘッド使用装置の信頼性を向上させることができる磁気ヘッドとその製造方法を提供する。【構成】 テープガイド5を備えた磁気ヘッド10であって、これを成膜のための真空容器70内のホルダ20に支持させ、テープガイド5に対し、ホウ素元素含有物質30aを真空蒸着法及び(又は)スパッタ法にて付与し、前記真空蒸着及び(又は)スパッタと同時、交互又は該付与操作のあとにイオン源40より窒素イオン含有イオン40aを照射して少なくともテープガイドのテープガイド面50に立方晶系閃亜鉛鉱型の結晶構造を有する窒素ホウ素を含有する耐摩耗性膜8を形成した磁気ヘッド10。

Claim (excerpt)：

磁気テープを案内するためのテープガイドを取り付けた磁気ヘッドにおいて、少なくとも該テープガイドのテープガイド面に立方晶系閃亜鉛鉱型の結晶構造を有する窒化ホウ素を含有する耐摩耗性膜を形成していることを特徴とする磁気ヘッド。

IPC (2)：

G11B 15/60 ,  C23C 14/06