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J-GLOBAL ID：200903000192559885

固体撮像装置

Inventor： 八木 慎一郎
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003059049
Publication number (International publication number)：2004273566
Application date： Mar. 05, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：

【課題】遮光領域における金属遮光膜の突起物の形成を抑制し、光漏れを防止することができる固体撮像装置を提供する。【解決手段】撮像領域内に設けられ、複数の受光素子4が配置された受光領域2と、撮像領域のうち、受光領域2を除く領域を隙間無く遮光する遮光領域3とを有し、遮光領域3は、多層の金属遮光膜21,22により形成され、各層21,22により遮光面積が分割されている。遮光領域3は、金属遮光膜21,22の各層が互いに重なる領域をもつように形成されている。また、CMOSイメージセンサの場合には、遮光領域3は、撮像領域のうち受光領域を除く領域内に配置された、暗示の基準出力を出力する複数の受光素子4を遮光する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

撮像領域内に設けられ、複数の受光素子が配置された受光領域と、 前記撮像領域のうち、前記受光領域を除く領域を隙間無く遮光する遮光領域とを有し、 前記遮光領域は、多層の金属遮光膜により形成され、各層により遮光面積が分割されている 固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L27/146 ,  H01L27/14 ,  H04N5/335

FI (3)：

H01L27/14 A ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 D

F-Term (31)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA12 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA09 ,  4M118DB06 ,  4M118DB08 ,  4M118DD04 ,  4M118DD10 ,  4M118DD12 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118FA35 ,  4M118FA42 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB09 ,  4M118GB11 ,  4M118GB19 ,  5C024AX01 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5C024GY03 ,  5C024GY04 ,  5C024GY05 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ36