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J-GLOBAL ID：200903000208766614

ウエハ洗浄用組成物及びそれを用いた洗浄方法

Inventor： 三村 康也 ,  松下 景太 ,  神田 裕之
Applicant, Patent owner： 株式会社ジャパンエナジー
Agent (1)： 藤吉 一夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997366601
Publication number (International publication number)：1999189794
Application date： Dec. 26, 1997
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 レジストとワックスの両方に対して洗浄力が強く、加熱使用が可能であり、環境破壊に対する問題点が少なく、しかも人体に対して安全性が高いウエハ洗浄用組成物を提供する。【解決手段】 ヒドロキシモノカルボン酸エステルとテルペン類を混合した洗浄剤を使用することにより、課題を解決できる。

Claim (excerpt)：

テルペン系溶剤及びヒドロキシモノカルボン酸エステルからなるウエハ洗浄用組成物。

IPC (5)：

C11D 7/50 ,  C11D 7/24 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/60 ,  H01L 21/304 647

FI (5)：

C11D 7/50 ,  C11D 7/24 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/60 ,  H01L 21/304 647 A