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J-GLOBAL ID：200903000210282900

磁気軸受装置

Inventor： 篠崎 弘行 ,  松村 正夫
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993128318
Publication number (International publication number)：1994313426
Application date： Apr. 30, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電磁石のコイル自体のインダクタンスの変化を検出することにより被支持体の相対変位量を求めることができ、且つ相互誘導等の影響を受けずに制御信号周波数帯域迄被支持体の相対変位量を検出することのできる磁気軸受装置を提供する。【構成】 導体からなる励磁コイル1を有する電磁石2により被支持体4を非接触状態で支持する磁気軸受装置において、前記励磁コイル1に一定の周波数信号Aを含む電流を供給するパルス幅変調(PWM)型の電流増幅器6と、前記被支持体4の相対変位量に基づく前記励磁コイル1の磁気回路の変化による該励磁コイル1の自己インダクタンスの変化によりAM変調を受けた前記一定の周波数信号Aを検出する検出回路7とを備えた。

Claim (excerpt)：

導体からなる励磁コイルを有する電磁石により被支持体を非接触状態で支持する磁気軸受装置において、前記励磁コイルに一定の周波数信号を含む電流を供給するパルス幅変調(パルス幅)型の電流増幅器と、前記被支持体の相対変位量に基づく前記励磁コイルの磁気回路の変化による該励磁コイルの自己インダクタンスの変化によりAM変調を受けた前記一定の周波数信号を検出する検出回路とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。