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J-GLOBAL ID：200903000212779313

薄膜圧電共振器及びその製造方法

Inventor： ▲もたい▼ 貴子 ,  柴田 浩延
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (7)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005262101
Publication number (International publication number)：2007074647
Application date： Sep. 09, 2005
Publication date： Mar. 22, 2007
Summary：

【課題】 歩留まり低下の防止が可能な薄膜圧電共振器を提供する。【解決手段】 表面側に比べ、表面に対向する裏面側で開口幅が広い貫通孔を有する基板10と、表面側で貫通孔上を覆う下部電極14と、下部電極14上に設けられた圧電膜16と、下部電極14と対向して圧電膜16上に配置された上部電極18と、裏面側から貫通孔中に挿入され、貫通孔の下部を封止する封止板28とを備える。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

表面側に比べ、前記表面に対向する裏面側で開口幅が広い貫通孔を有する基板と、 前記表面側で前記貫通孔上を覆う下部電極と、 前記下部電極上に設けられた圧電膜と、 前記下部電極と対向して前記圧電膜上に配置された上部電極と、 前記裏面側から前記貫通孔中に挿入され、前記貫通孔の下部を封止する封止板 とを備えることを特徴とする薄膜圧電共振器。

IPC (6)：

H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6)：

H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

F-Term (9)：

5J108BB07 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 音響共振器とその製作方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-154956   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• 米国特許第6713314号明細書