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J-GLOBAL ID：200903000217867458

光導波路グレーティングとその製造方法及び光デバイス

Inventor： 前川 武之 ,  星崎 潤一郎 ,  松本 貞行 ,  高林 正和 ,  竹谷 元 ,  吉新 喜市 ,  内川 英興
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000147960
Publication number (International publication number)：2001330741
Application date： May. 19, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構造で、グレーティング中心波長の温度ドリフトを小さくできる光導波路グレーティング及び光デバイスならびにその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に、それぞれSiO2を主成分とするコアとコアの内部に光を閉じ込めるようにコアの周りに形成されたクラッドとを備え、コアの屈折率が周期的に変化されてなる石英系平面光導波路グレーティングにおいて、コアまたはクラッドの少なくとも一方に、F、N、Ti、Zr、OH及びODからなる群から選択された少なくとも1種類を含む。

Claim (excerpt)：

基板上に、それぞれSiO2を主成分とするコアとコアの内部に光を閉じ込めるようにコアの周りに形成されたクラッドとを備え、上記コアの屈折率が周期的に変化されてなる石英系平面光導波路グレーティングにおいて、上記コアまたはクラッドの少なくとも一方に、F、N、Ti、Zr、OH及びODからなる群から選択された少なくとも1種類を含むことを特徴とする光導波路グレーティング。

IPC (4)：

G02B 6/122 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/12

FI (4)：

G02B 5/18 ,  G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N

F-Term (13)：

2H047KA04 ,  2H047KA11 ,  2H047LA02 ,  2H047PA03 ,  2H047QA04 ,  2H047QA07 ,  2H047TA00 ,  2H047TA31 ,  2H049AA34 ,  2H049AA45 ,  2H049AA51 ,  2H049AA59 ,  2H049AA62