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J-GLOBAL ID：200903000219212238
磁気記録媒体の製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古谷 馨 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993244680
Publication number (International publication number)：1995098868
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 長期間にわたって磁気記録媒体の初期の性能が維持できるような磁気記録媒体の製造装置を提供すること。【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内の走行装置と、被蒸着材下方のルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、蒸着領域の終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給装置とを含み、前記走行装置は、送りロールと、冷却ロールを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記送りロールより繰り出される被蒸着材を所定の幅に走行方向に切断するスリッターを送りロールと前記冷却ロールの間に配設したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
真空容器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、蒸着領域の終端に配設され酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給装置とを含み、前記走行装置は、送りロールと、冷却ロールを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記送りロールより繰り出される被蒸着材を所定の幅に走行方向に切断するスリッターを送りロールと前記冷却ロールの間に配設したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
IPC (3)：
G11B 5/85
, C23C 14/56
, G11B 5/84
