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J-GLOBAL ID：200903000221466131

疑似光発生装置

Inventor： 由井 尚正
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001064651
Publication number (International publication number)：2002267949
Application date： Mar. 08, 2001
Publication date： Sep. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】 予め定められた分光放射照度が再現できる新しい概念の疑似光発生装置を提供することを目的としている。【解決手段】 本発明の疑似光発生装置は光源部、分光分散部、単色光強度制御部、単色光混合部、疑似光検知部および疑似光と基準光との差分を検出する比較部からなる。分光分散部は分解能の高い単色光の作成が可能である。また、単色光強度制御部を設けることにより、疑似光検知部および疑似光と基準光との差分を検出する比較部から発する信号で帰還がかけられる。その作用により、所要の分光放射照度を有する高性能の疑似光発生装置を実現することができる。

Claim (excerpt)：

分光放射光を有する光源と、該光源から発する分光放射光を単色光に分散する分光分散部と、単色光の光強度を個別に制御する単色光強度制御部と、単色光を混合して擬似光として出力する単色光混合部とを備え、前記分光分散部により分散したそれぞれの単色光の光強度を個別に制御した上で、再び、前記単色光混合部によりそれぞれの単色光を混合し、予め定めた分光放射照度を再現することから成る疑似光発生装置。

IPC (6)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/10 ,  G02B 5/18 ,  H01L 31/04 ,  G01J 3/12 ,  G01J 3/14

FI (6)：

G02B 26/00 ,  G01J 3/10 ,  G02B 5/18 ,  G01J 3/12 ,  G01J 3/14 ,  H01L 31/04 K

F-Term (25)：

2G020CB03 ,  2G020CB26 ,  2G020CB32 ,  2G020CB33 ,  2G020CB42 ,  2G020CB43 ,  2G020CC02 ,  2G020CC04 ,  2G020CC13 ,  2G020CC26 ,  2G020CC42 ,  2G020CD01 ,  2H041AA02 ,  2H041AA06 ,  2H041AA08 ,  2H041AB10 ,  2H041AB30 ,  2H041AC01 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H049AA06 ,  2H049AA50 ,  2H049AA55 ,  2H049AA62 ,  5F051KA09