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J-GLOBAL ID：200903000226044847

基板の水洗方法および水洗槽

Inventor： 松井 邦容
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998003550
Publication number (International publication number)：1999197611
Application date： Jan. 09, 1998
Publication date： Jul. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】電解ミセル法を用いて、スジ状模様のムラのない、良好なカラーフィルターを提供する。【解決手段】ミセル成膜後の水洗工程で、水洗槽に垂直に浸漬した基板に対し、水洗槽底部から基板上部方向へ流れるバブリングを伴った層流と、水洗槽中で基板表面に対して垂直に噴射する方向の水の流れを、基板浸漬時に同時に発生するようにした。その結果、基板が完全に浸漬する前に基板表面に付着した不要な高濃度のミセル液を一刻も早く除去することができ、スジ状模様のムラなくカラーフィルターを作製できるようになった。

Claim (excerpt)：

湿式薄膜形成後の基板の水洗方法において、水洗槽に垂直に浸漬した基板に対して、水洗槽底部から上部に向かう流れと、水洗槽中で基板表面に対して垂直に向かう流れと、を同時に発生させながら基板を水洗することを特徴とする基板の水洗方法。

IPC (6)：

B08B 3/02 ,  B08B 3/04 ,  C23G 3/00 ,  C25D 13/00 307 ,  C25D 21/08 ,  G02B 5/20 101

FI (6)：

B08B 3/02 A ,  B08B 3/04 Z ,  C23G 3/00 Z ,  C25D 13/00 307 A ,  C25D 21/08 ,  G02B 5/20 101