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J-GLOBAL ID：200903000228793731
高出力レーザ用光学部材
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 昌久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991213204
Publication number (International publication number)：1993032432
Application date： Jul. 31, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明は経時的な耐レーザ性と高屈折率を保証し、これにより長期間に亙って使用可能な高出力レーザ用光学部材、特にステッパ用の光学部材を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、H2ガスを1.5×1017molecules/cm3以上含有させるとともに、Clの含有量を200ppm以下に設定し、これによりH2ガス分子の消費量を著しく低下させ、長期に亙って高出力レーザを照射しても欠陥発生限界である1×1016molecules/cm3に達することのない安定した耐レーザガラスを得ることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
合成シリカガラスからなる高出力レーザ用光学部材において、H2ガス分子の含有量を1.5×1017molecules/cm3以上、Clの含有量を200ppm以下、KrFエキシマレーザ照射時のH2ガス分子の消費量を1×108molecules/cm3・dose以下に夫々設定した事を特徴とする高出力レーザ用光学部材
IPC (4)：
C03C 4/00
, C03B 20/00
, C03C 3/06
, G02B 1/02
