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J-GLOBAL ID：200903000229433135

薄膜素子、薄膜LCフィルタ素子、薄膜LCフィルタ部品及び薄膜素子の製造方法

Inventor： 游 銘雄 ,  池田 尊士
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996232232
Publication number (International publication number)：1998079469
Application date： Sep. 02, 1996
Publication date： Mar. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 薄膜インダクタの内端と接続する導電体と前記薄膜インダクタとの絶縁性を向上させた薄膜素子,薄膜LCフィルタ素子,薄膜LCフィルタ部品及びその製造方法の提供。【解決手段】 コンデンサ103 の第2電極105 に接続させたインダクタ電極106を形成し、インダクタ電極106 上には有機系材料を用いてなる絶縁膜107 を形成し、絶縁膜107 上にはインダクタ電極106 に接続させた表層電極108 を形成する。

Claim (excerpt)：

渦巻きパターンを有する導電体膜、該導電体膜上に形成してある絶縁体膜及び該絶縁体膜上に前記導電体膜の内端と接続して形成してある導電体膜を有する薄膜素子において、前記絶縁体膜は有機系材料を用いてなることを特徴とする薄膜素子。

IPC (7)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01F 27/00 ,  H01F 17/00 ,  H01F 41/04 ,  H01G 4/40 ,  H03H 7/01

FI (7)：

H01L 27/04 C ,  H01F 17/00 B ,  H01F 41/04 C ,  H03H 7/01 Z ,  H01F 15/00 D ,  H01G 4/40 321 A ,  H01L 27/04 L