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J-GLOBAL ID：200903000270863111
画像処理方法と画像処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991298217
Publication number (International publication number)：1993108798
Application date： Oct. 17, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：
【要約】【目的】 判定精度を落とすことなく、加工工程前後の検体の検査を行い得る画像処理方法と画像処理装置を提供することを目的とする。【構成】 加工工程前における検体14の画像データである第1の画像データを取り込み、該第1の画像データを記憶し、加工工程後における検体14の画像データである第2の画像データを取り込み、該第2の画像データを記憶し、該第2の画像データを前記第1の画像データと比較し、加工工程後の検体14について判定する。
Claim (excerpt)：
加工工程前における検体の画像データである第1の画像データを取り込み、該第1の画像データを記憶し、加工工程後における検体の画像データである第2の画像データを取り込み、該第2の画像データを記憶し、該第2の画像データを前記第1の画像データと比較し、加工工程後の検体について判定することを特徴とする画像処理方法
IPC (2)：
G06F 15/62 405
, H01L 21/66
