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J-GLOBAL ID：200903000272681142

硬質皮膜

Inventor：
久保田 和幸

About 久保田 和幸


Applicant, Patent owner：
日立ツール株式会社

About 日立ツール株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005242484
Publication number (International publication number)：2007056305
Application date： Aug. 24, 2005
Publication date： Mar. 08, 2007
Summary：
【課題】本発明の目的は、硬質皮膜の耐高温酸化性、潤滑性と靭性の特性を犠牲にすることが無く、特に硬質皮膜の高硬度化による耐磨耗性と密着性の改善を目的とした。【解決手段】硬質皮膜は4a、5a、6a族、Al、Bから選択される1種以上の金属元素とSiを含み、C、N、Oから選択される1種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜はfcc構造の柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はSi含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、ラマン分光分析による該α型Si3N4のピーク強度をIα、該β型Si3N4のピーク強度をIβとしたときに、1.0≦Iβ/Iα≦20.0であり、X線回折による(200)面の格子定数が0.4100nm以上、0.4300nm以下であることを特徴とする硬質皮膜である。【選択図】図1
Claim 1：
硬質皮膜は、4a、5a、6a族、Al、Bから選択される1種以上の金属元素とSiを含み、C、N、Oから選択される1種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜はfcc構造の柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はSi含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みT(nm)が0.1≦T≦100、であり、該硬質皮膜中に存在するSiはα型Si3N4とβ型Si3N4の結晶質相として存在し、ラマン分光分析による該α型Si3N4のピーク強度をIα、該β型Si3N4のピーク強度をIβとしたときに、1.0≦Iβ/Iα≦20.0であり、X線回折による(200)面の格子定数が0.4100nm以上、0.4300nm以下であることを特徴とする硬質皮膜。
IPC (1)：
C23C 14/06
FI (1)：
C23C14/06 A
F-Term (21)：
3C037CC02 ,  3C037CC04 ,  3C046FF09 ,  3C046FF11 ,  3C046FF13 ,  4K029AA04 ,  4K029AA29 ,  4K029BA41 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC01 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029CA13 ,  4K029DB04 ,  4K029DC04 ,  4K029DC39 ,  4K029DD06
Patent cited by the Patent：
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