Pat
J-GLOBAL ID:200903000285841858
カラーフィルターの製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002174231
Publication number (International publication number):2004020809
Application date: Jun. 14, 2002
Publication date: Jan. 22, 2004
Summary:
【課題】各形成パターンの断面傾斜角が適切で、気泡混入やクラックのない高品質なカラーフィルターを容易に製造することができるカラーフィルターの製造方法を提供すること。【解決手段】基板上の感光性樹脂層を露光、現像することによって、基板の表面にパターンを形成する露光現像工程と、前記露光現像工程によって形成された前記パターンを露光するポスト露光工程と、前記ポスト露光工程によって露光された前記パターンを加熱して硬化させる加熱工程と、を含むカラーフィルターの製造方法であって、前記ポスト露光工程は、前記パターンの所望の傾斜角に対応する露光量で前記パターンを照射することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
基板上の感光性樹脂層を露光、現像することによって、基板の表面にパターンを形成する露光現像工程と、前記露光現像工程によって形成された前記パターンを露光するポスト露光工程と、前記ポスト露光工程によって露光された前記パターンを加熱して硬化させる加熱工程と、を含むカラーフィルターの製造方法であって、
前記ポスト露光工程は、前記パターンの所望の傾斜角に対応する露光量で前記パターンを照射することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (4):
G02B5/20
, G02F1/1335
, G02F1/1368
, G03F7/40
FI (4):
G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
, G02F1/1368
, G03F7/40 501
F-Term (16):
2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 2H091FA02Y
, 2H091FB02
, 2H091FC26
, 2H091LA30
, 2H092JA24
, 2H092MA13
, 2H092NA24
, 2H092PA08
, 2H096AA28
, 2H096HA01
, 2H096HA03
, 2H096JA04
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