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J-GLOBAL ID:200903000285841858

カラーフィルターの製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002174231
Publication number (International publication number):2004020809
Application date: Jun. 14, 2002
Publication date: Jan. 22, 2004
Summary:
【課題】各形成パターンの断面傾斜角が適切で、気泡混入やクラックのない高品質なカラーフィルターを容易に製造することができるカラーフィルターの製造方法を提供すること。【解決手段】基板上の感光性樹脂層を露光、現像することによって、基板の表面にパターンを形成する露光現像工程と、前記露光現像工程によって形成された前記パターンを露光するポスト露光工程と、前記ポスト露光工程によって露光された前記パターンを加熱して硬化させる加熱工程と、を含むカラーフィルターの製造方法であって、前記ポスト露光工程は、前記パターンの所望の傾斜角に対応する露光量で前記パターンを照射することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
基板上の感光性樹脂層を露光、現像することによって、基板の表面にパターンを形成する露光現像工程と、前記露光現像工程によって形成された前記パターンを露光するポスト露光工程と、前記ポスト露光工程によって露光された前記パターンを加熱して硬化させる加熱工程と、を含むカラーフィルターの製造方法であって、 前記ポスト露光工程は、前記パターンの所望の傾斜角に対応する露光量で前記パターンを照射することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (4):
G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1368 ,  G03F7/40
FI (4):
G02B5/20 101 ,  G02F1/1335 505 ,  G02F1/1368 ,  G03F7/40 501
F-Term (16):
2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H091FA02Y ,  2H091FB02 ,  2H091FC26 ,  2H091LA30 ,  2H092JA24 ,  2H092MA13 ,  2H092NA24 ,  2H092PA08 ,  2H096AA28 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  2H096JA04

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