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J-GLOBAL ID:200903000304911056

二段エッチング加工法用バックコート材

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 萼 経夫 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992345634
Publication number (International publication number):1994173039
Application date: Nov. 30, 1992
Publication date: Jun. 21, 1994
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 水性の二段エッチング加工法用バックコート材を提供する。【構成】 金属板に小さい孔径の孔をあけるためにフォトエッチング法を用いてレジスト膜を形成し、まず片面あるいは両面から所定の深さまでハーフエッチングを行い、その片面のエッチング部にバックコート材として樹脂組成物をムラなく充填し、加熱硬化後次に反対側からエッチングを行って孔を貫通させた後レジスト及び該樹脂組成物をアルカリ水を主成分とする剥離液を用いて剥離する二段エッチング加工法に使用するための前記樹脂組成物が、自己架橋型ソープレスエマルジョンを含むアクリルおよび/またはメタクリル系共重合体のアンモニア水溶液とアセチレンアルコール化合物および/またはアセチレングリコール化合物および水溶性架橋剤を含有することを特徴とする二段エッチング加工用バックコート材。
Claim (excerpt):
金属板に小さい孔径の孔をあけるためにフォトエッチング法を用いてレジスト膜を形成し、まず片面あるいは両面から所定の深さまでハーフエッチングを行い、その片面のエッチング部にバックコート材として樹脂組成物をムラなく充填し、加熱硬化後次に反対側からエッチングを行って孔を貫通させた後レジスト及び該樹脂組成物をアルカリ水を主成分とする剥離液を用いて剥離する二段エッチング加工法に使用するための前記樹脂組成物が、自己架橋型ソープレスエマルジョンを含むアクリルおよび/またはメタクリル系共重合体のアンモニア水溶液とアセチレンアルコール化合物および/またはアセチレングリコール化合物および水溶性架橋剤を含有することを特徴とする二段エッチング加工用バックコート材。
IPC (2):
C23F 1/00 ,  H01J 9/14

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