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J-GLOBAL ID：200903000352404590

ポジ型感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  佐藤 健一郎
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997024011
Publication number (International publication number)：1998221852
Application date： Feb. 06, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の波長の露光光源の使用に好適で、良好な感度、解像度を与え、耐ドライエッチング性が優れ、露光後PEB処理まで経時させてもプロファイル等の性能変動が小さいポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する基を有する繰り返し構造単位と、脂環式基を有する繰り返し構造単位と、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する繰り返し構造単位を有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する基を有する繰り返し構造単位を少なくとも1つと、脂環式基を有する繰り返し構造単位を少なくとも1つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する繰り返し構造単位を少なくとも1つ有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R