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J-GLOBAL ID：200903000354929177
パターン検査方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992000585
Publication number (International publication number)：1993182887
Application date： Jan. 07, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】本発明の目的は、検出した欠陥を異物かどうか識別して検査可能な外観検査方法及び装置を提供することにある。【構成】被検査パターンの欠陥を検出するパターン検査装置において、欠陥検出手段60と欠陥情報記憶手段と異物検出手段62を有し、欠陥検出後に、検出した欠陥位置で異物検出し、異物とそれ以外に分類することを特徴とするパターン検査装置。【効果】検出した欠陥を異物かどうか識別して検査でき、欠陥発生を防止するためのより適切な対策が実施できる。
Claim (excerpt)：
被検査パターンの欠陥を検出するパターン検査において、欠陥検出後に、欠陥として検出した位置で異物検出を行い、欠陥を異物とそれ以外に分類することを特徴とするパターン検査方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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